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检测标准：
1 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 厚度和总厚度变化
2 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 弯曲度
3 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 表面和参考面取向
4 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 平整度
5 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 几何尺寸
6 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 表面和背面粗糙度
7 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 翘曲度
8 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 结晶完整性
9 氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片 表面和背面缺陷
10 几何尺寸 SJ/T11396-2009 几何尺寸
11 厚度和总厚度变化 SJ/T11396-2009 厚度和总厚度变化
12 平整度 SJ/T11396-2009 平整度
13 弯曲度 SJ/T11396-2009 弯曲度
14 结晶完整性 SJ/T11396-2009 结晶完整性
15 翘曲度 SJ/T11396-2009 翘曲度
