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检测标准：
1 水GB/T5832.3-2011、GB/T5832.1-2016 水
2 三氟化氮 GB/T21287-20216.2 三氟化氮
3 四氟化碳 GB/T21287-20216.3 四氟化碳
4 氮 GB/T21287-20216.3 氮
5 氧+氩 GB/T21287-20216.3 氧+氩
6 一氧化碳 GB/T21287-20216.3 一氧化碳
7 二氧化碳 GB/T21287-20216.3 二氧化碳
8 氧化亚氮 GB/T21287-20216.3 氧化亚氮
9 六氟化硫 GB/T21287-20216.3 六氟化硫
10 可水解氟化物（以HF计）或总酸度 GB/T21287-20216.5 可水解氟化物（以HF计）或总酸度
11 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法气体分析 微量水分的测定 第1部分: 电解法GB/T5832.3-2011、GB/T5832.1-2016 水
12 电子特气 三氟化氮 GB/T21287-20216.2 三氟化氮
13 电子特气 三氟化氮 GB/T21287-20216.3 四氟化碳
14 电子特气 三氟化氮 GB/T21287-20216.3 氮
15 电子特气 三氟化氮 GB/T21287-20216.3 氧+氩
