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检测标准：
1 砷化氢纯度 GB/T26250-20104.2 砷化氢纯度
2 氧+氩含量 GB/T26250-20104.4 氧+氩含量
3 氮含量 GB/T26250-20104.4 氮含量
4 磷化氢含量 GB/T26250-20104.8 磷化氢含量
5 总杂质含量 GB/T26250-2010 总杂质含量
6 颗粒 GB/T26250-20104.9 颗粒
7 金属离子 GB/T26250-20104.1 金属离子
8 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.2 砷化氢纯度
9 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.4 氧+氩含量
10 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.4 氮含量
11 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.8 磷化氢含量
12 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-2010 总杂质含量
13 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.9 颗粒
14 电子工业用气体 砷化氢 GB/T26250-20104.1 金属离子
